国家光栅工程中心拥有5台光栅刻划机，可以刻制20lines/mm到2400lines/mm、刻划面积小于300×300mm²的光栅，并拥有一系列制作和生产全息离子束刻蚀光栅的装备以及完整的光栅技术指标测试专用设备。